1. Загальна характеристика MEMS-датчиків
2. Нова лінійка гіроскопів MAX2100x
3. Проектування друкованих плат для лінійки MAX2100x
4. Організація технологічних процесів монтажу MAX2100x
5. Оціночний набір MAX21000 Maxim Inertial Demo (MInD) Evaluation Kit
6. Висновок
7. література
8. Гіроскоп і акселерометр в одному корпусі

Зниження ціни і габаритів призвело до того, що технологія MEMS-компонентів знаходить все більше застосування в різних областях електроніки. Незважаючи на те, що компоненти MEMS давно використовують в автомобільній і промисловій електроніці, їх застосування саме в побутових і споживчих приладах значно збільшило інтерес до MEMS-технології.

Загальна характеристика MEMS-датчиків

Що ж таке MEMS? MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) або МЕМС (мікроелектромеханічні системи) об'єднують в собі електронні і мікромеханічні елементи. Це означає, що за допомогою звичних технологій створення напівпровідникових компонентів на поверхні кристала вирощуються не тільки транзистори, діоди і т.д., але мікроскопічні механічні елементи.

Перелік вже створених MEMS-пристроїв досить широкий. Це не тільки звичні для нас датчики (акселерометри, гіроскопи, магнітометри, датчики тиску та ін.), А й виконавчі пристрої - актуатори (мотори, насоси, турбіни, мікророботи і т.д.). Але саме MEMS-датчики набули найбільшого поширення.

Хвилю інтересу до MEMS-датчикам породило їх повсюдне впровадження в споживчу електроніку і ігрову індустрію. Надсучасні маніпулятори ігрових приставок останнього покоління не обходяться без акселерометрів і гіроскопів. Те ж можна сказати про планшетах і смартфонах. Однак використання MEMS-датчиків зовсім не обмежується іграшками. Існує куди більш важливі області їх застосування (малюнок 1).

Мал. 1. Області застосування MEMS

Історично автомобільна галузь стала першою, що почала масове застосування MEMS-акселерометрів і гіроскопів: для детектування зіткнень, для подальшого спрацювання подушок безпеки. Поширені датчики перевороту автомобіля, датчики вібрації і розкриття в автомобільних сигналізації. Нові системи курсової стійкості також використовують MEMS.

У користувальницької електроніці MEMS вбудовують не тільки в планшети і телефони. Одним з важливих застосувань можна вважати «справжні» системи стабілізації зображення в фотоапаратах і відеокамерах. Крім того, їх використовують в системах захисту жорстких дисків - при виявленні небезпечних вібрацій (удари, падіння) голівки, що зчитує завчасно забирається від поверхні диска.

У медицині MEMS-датчики також незамінні. Кардіостимулятори, дефібрилятори, нейростімулятори, системи життєзабезпечення - ось лише частина пристроїв, що використовують MEMS.

У сфері індустрії охорони здоров'я MEMS-датчики лежать в основі шагомеров, лічильників калорій і вимірників пульсу. Нещодавно відразу кілька великих компаній-виробників спортивного інвентарю анонсували «розумні» браслети, що поєднують перераховані вище гаджети в одному пристрої, побудованому на базі мініатюрних MEMS.

Побутова електроніка використовує дешеві і ефективні MEMS-датчики. Наприклад, датчик обертання барабана пральної машини, датчики розтину в сигналізації.

Промислова електроніка давно оцінила переваги MEMS в системах управління і моніторингу: моніторинг будівель і мостів, моніторинг вібрацій, аналізатори сейсмоактивності, промислові роботи, промислові гіроскопи / акселерометри.

Для того, щоб зрозуміти, в чому причина популярності MEMS-датчиків, потрібно розібратися в особливостях їх функціонування і побудови.

Хоча існує кілька принципів побудови MEMS (MEMS на п'єзоефекті, термальні MEMS і ін.), Найбільш поширені конденсаторні датчики. Принцип їх роботи заснований на вимірюванні ємності. На поверхні кристала створюється структура, що складається з нерухомої і рухомої (мікроскопічної мембрани або війки) частин, величина ємності між якими змінюється при додатку зовнішньої сили. Спрощена модель такого датчика представлена ​​на малюнку 2.

Мал. 2. Принцип роботи MEMS

Система являє собою вантаж, розміщений на підвісі. Нерухома частина є однією з обкладок умовного конденсатора, друга обкладка - грузик. При додатку зовнішньої сили грузик зміщується, що призводить до зміни сумарної ємності при незмінному заряді. За величиною ємності, знаючи масу грузика і параметри підвісу, можна визначити положення вантажу.

У цифрових датчиках сигнал з MEMS-структури посилюється, нормується і фільтрується, після чого оцифровується інтегрованим АЦП. Залежно від того, яким чином перераховуються дані, вихідна цифрове значення може визначати прискорення в разі акселерометрів, або зміна положення (градусів в секунду) для гіроскопів.

Переваги MEMS-датчиків:

• розміщення датчика і електронних блоків (підсилювачі, АЦП) в одному корпусі, що максимально спрощує побудову пристроїв;
• мініатюрний розмір. Сучасні комерційні датчики випускаються в LGA-корпусах 3х3 мм;
• низька ціна. Не варто навіть порівнювати механічні та електронні датчики за цінами. Вони будуть відрізнятися в сотні разів. Крім того, масовий випуск MEMS і витонченість технологій привели до того, що їх вартість не перевищує декількох доларів;
• низьке споживання. Споживання типових датчиків складає одиниці мА;
• відмінні метрологічні характеристики. Об'єднання всіх компонентів на одному кристалі призвело до значного зниження рівня шумів, зростання чутливості, збільшення швидкості вимірювань.

Можна виділити кілька основних параметрів MEMS-гіроскопів:

Параметри споживання. Напруга харчування і струм споживання в різних режимах роботи.

Діапазон повної шкали (Full-scale range). Вимірюється в градусах / с (далі ° / с). Характеризує максимальну регистрируемую швидкість зміни кута повороту. Якщо швидкість обертання більше цього значення, вихідний сигнал датчика входить в зону насичення.

Помилка нульового прискорення (Zero-rate level). Вимірюється в ° / с. Характеризує величину виміряного кута при відсутності прискорення.

Чутливість (Sensitivity). Вимірюється в 1 / (° / с). Характеризує відношення між молодшим значущим розрядом (1LSB) і кутовим прискоренням. Параметр необхідний для перерахунку отриманого цифрового значення в кутове прискорення.

Температурний коефіцієнт чутливості. Вимірюється в процентах. Характеризує зміну чутливості датчика при зміні температури.

Температурний коефіцієнт нульового прискорення. Вимірюється в процентах. Характеризує максимальне зміна помилки нульового прискорення у всьому робочому температурному діапазоні.

Нелінійність вимірюється у відсотках від повної шкали. Визначає максимальне відхилення показань гіроскопа від ідеальної характеристики, виражене у відсотках від повної шкали.

Системна смуга пропускання. Вимірюється в герцах. Визначає діапазон частот зміни кутового прискорення.

Рівень власних шумів. Вимірюється в (° / с) / √Гц. Параметр характеризує максимальний дозвіл, яке можна отримати з урахуванням смуги пропускання гіроскопа.

Гіроскопи MAX2100x володіють усіма перевагами MEMS. Вони побудовані на принципі вимірювання ємності і мають відмінні метрологічні характеристики, малі габарити і низьке споживання.

Нова лінійка гіроскопів MAX2100x

Нові гіроскопи лінійки MAX2100х являють собою малопотребляющіе високочутливі MEMS з відмінною температурною стабільністю і низьким рівнем шумів. Мікросхеми ідеально підходять не тільки для різних призначених для користувача інтерфейсів (джойстиків, маніпуляторів, систем розпізнавання жестів), але і для систем оптичної стабілізації зображень

На даний момент лінійка складається з трьох представників: MAX21000 , MAX21002 і MAX21003 (рисунок 3).

Мал. 3. Лінійка гіроскопів MAX2100x

MAX21000 - трехосевой гіроскоп. Він здатний визначати всі три види обертань: навколо осі X (roll), осі Y (pitch) і осі Z (yaw) (рисунок 3а).

MAX21002 дозволяє вимірювати параметри обертання по двох осях (pitch і roll) (рисунок 3б).

MAX21003 - двовісний гіроскоп (рисунок 3в), що дозволяє вимірювати параметри обертання по осях Z і X (yaw і roll відповідно).

Розглянемо більш докладно архітектуру гіроскопів MAX2100x на прикладі MAX21000 (рисунок 4). Вона включає в себе ряд основних блоків: трехосевой MEMS-гіроскоп, схеми посилення і нормування сигналів, 16-бітові АЦП, внутрішні регістри, FIFO-буфер даних, комунікаційні інтерфейси (I2C, SPI), блок синхронізації, блок генераторів переривань, інтегрований датчик температури , блок самоконтролю.

Мал. 4. Структура гіроскопа MAX21000

У серці MAX21000 розташовується ємнісний MEMS-гіроскоп. Він здатний виявляти обертання навколо осей X, Y і Z. Коли гіроскоп обертається навколо будь-якої з осей, сила Коріоліса (один з різновидів відцентрової сили) визначає зміщення частин MEMS-структури, яке може бути визначено по зміні ємності. Максимальна частота зміни сигналу може досягати 400 Гц.

Отриманий сигнал проходить через схеми посилення і нормування. Параметри посилення можуть змінюватися, що дозволяє програмно змінювати чутливість гіроскопа. Для MAX21000 в режимі UI вихідний діапазон може складати ± 250, ± 500, ± 1000 або ± 2000 ° / с. У режимі оптичної стабілізації - ± 31,25 / ± 62,5 / ± 125 / ± 250 градусів / с. Для MAX21002 / 3 вихідні діапазони в режимі оптичної стабілізації складають ± 31,25 / ± 62,5 / ± 125 / ± 250 / ± 500 / ± 1000 ° / с.

Величина шумів сигналу для MAX21000 становить всього 0,009 (° / с) / √Гц; для MAX21003 - 0,007 (° / с) / √Гц; і для MAX21002 - 0,008 (° / с) / √Гц.

Далі аналоговий сигнал перетвориться в цифровий потік даних за допомогою 16-бітових АЦП. Для MAX21000 частота потоку даних (Output Data Rate) програмується і може досягати 10 кГц.

Результати останніх отриманих вимірювань поміщаються в регістри даних. Є можливість розміщення потоку даних у внутрішньому FIFO-буфері (256 слотів 16-бітних даних).

Буфер FIFO налаштовується для роботи в одному з чотирьох режимів: неактивний, нормальний, робота по перериванню, режим знімка (Snapshot).

У неактивному режимі результати вимірювань доступні тільки з регістрів даних, читання з яких може проводитися синхронно або асинхронно. Для синхронного читання необхідно перевіряти стан прапора DATA_READY. Щоразу після отримання нових даних прапор зводиться. Значення прапора вираховується з регістра станів, або визначається станом однієї з двох лінії INT, якщо налаштоване відповідне переривання.

У нормальному режимі роботи FIFO результати вимірювань поміщаються в буфер. При заповненні буфера може бути згенеровано переривання FIFO-FULL (воно також може бути виведено на зовнішній контакт INT). Подальша робота буфера залежить від стану біта дозволу перезапису Overrun. Якщо він скинутий, то запис нових даних в буфер не проводиться, і нові дані губляться. Якщо Overrun встановлений, то нові дані записуються поверх старих, при цьому лічильник покажчика положення обнуляється (найновіші дані записуються замість найстаріших).

У режимі роботи по перериванню спочатку буфер неактивний, але при зміні частоти вибірки (ODR) буфер включається. Як і у випадку з нормальним режимом, поведінка буфера при переповненні залежить від стану біта дозволу перезапису Overrun.

У режимі знімка (Snapshot) буфер спочатку працює в нормальному режимі з роздільною здатністю перезапису. При зміні частоти вибірки біт дозволу перезапису скидається, і в буфер поміщаються дані з обраної частотою. Після заповнення буфера запис нових даних припиняється. В результаті в буфері виявляється «знімок» даних.

У складі MAX2100x є блок синхронізації, який виконує кілька функцій. По-перше, він здійснює пробудження мікросхеми з режиму зниженого споживання по надходженні сигналу на вхід DSYNC. По-друге, блок синхронізації здійснює синхронізацію даних. По-третє, події синхронізації даних можуть використовуватися в якості джерела переривань.

Одним з переваг MAX2100x є наявність двох генераторів переривань, керуючих зовнішніми лініями INT1 і INT2. Це значно спрощує процедуру обробки переривань зовнішнім процесором. Для кожного з генераторів подія, що викликає переривання, вибирається незалежно. Тип сигналу на INTx-лініях має гнучку систему налаштувань за допомогою регістрів конфігурації (вибір типу переривання, активні рівні, переривання з защелкиванием, переривання без замикання, переривання заданою тривалістю імпульсу і ін.).

Однією з проблем MEMS-датчиків є температурні залежності різних параметрів. Інтегрований в MAX2100x цифровий температурний сенсор може бути використаний для вимірювання температури кристала. Значення температури зберігаються в регістрах у вигляді двох байтів. Старший байт зберігає значення температури безпосередньо в градусах Цельсія. При його читанні додаткового перерахунку не потрібно. Це може бути дуже зручно для швидкого отримання значення температури. Якщо ж потрібна підвищена точність (1/256 ° С), необхідно вичитувати два байта даних.

Перевагою MAX2100x перед аналогами є блок самоконтролю. Він дозволяє перевірити працездатність гіроскопа без необхідності фізичного обертання. Запуск самотестування проводиться записом двох бітів в конфігураційні регістри. Блок проводить необхідні вимірювання, за якими можна судити про справність гіроскопа. Самоконтроль може проводитися як до пайки, так і після. Це значно спрощує контроль готових пристроїв, так як тестове обладнання не обов'язково має обертати прилад, щоб перевірити його працездатність.

Інтерфейс із зовнішнім процесором організований по поєднаною шині SPI / I2C. Тип шини визначається станом виведення CS. Якщо висновок CS жорстко підтягнутий до напруги харчування, то шина функціонує в режимі I2C, в іншому випадку шина працює в режимі SPI. Варто відзначити, що лінії в режимі I2C повинні бути підтягнуті через резистори до напруги харчування.

Максимальна частота передачі даних для SPI - до 10 МГц як в напівдуплексному (трехпроводной варіант), так і в повнодуплексному режимі (чьотирьох варіант). I2C підтримує стандартну швидкість (100 кГц), швидкість Fast I2C (до 400 кГц), і навіть High-Speed ​​I2C (до 3,4 МГц).

Налаштування всіх режимів роботи гіроскопа, а також конфігурація внутрішніх блоків проводиться за допомогою внутрішніх регістрів. Внутрішнє адресний простір MAX2100x складається з трьох банків: загальний банк (адреси 0x20 ... 0x3F), призначений для користувача банк 0 і призначений для користувача банк 1. Призначені для користувача банки мають однакові адреси (0x00 ... 0x1F), вибір конкретного банку здійснюється за допомогою регістра конфігурації (Register bank selection) , що знаходиться в загальному банку. Особливо варто відзначити, що в призначеному для користувача банку 1 розташовані регістри унікального ідентифікаційного регістра (48 біт).

Ще однією унікальною особливістю MAX2100x є параметри енергоспоживання (таблиця 1). Всі представники лінійки здатні працювати при напрузі живлення від 1,71 В. Це, по-перше, дозволяє знизити струм споживання, який навіть в активному режимі складає всього одиниці міліампер, а по-друге, низька напруга живлення робить гіроскопи ідеальними для портативних батарейних пристроїв .

Таблиця 1. Параметри MEMS-гіроскопів MAX2100x

НайменуванняОсіДіапазон повної шкали, ± ° / сI потр (тип), мААЦП, бітРівень шумів (тип), (° / с) / √ГцUпит, ВЧас включення (з режиму Power Down) (тип), мсТраб, ° CКорпусNormalPower DownStandbyECOMAX21002

X, Y 1000 5,1 0,0085 2,7 3 16 0,008 1,71 ... 3,6 45 -40 ... 85 LGA / 16 MAX21003 X, Z 1000 0,007 MAX21000 X , Y, Z 2000 0009

Величина споживання MAX2100x залежить від робочого режиму. Їх чотири: нормальний режим (Normal Mode), економічний режим (Eco Mode), режим очікування (Standby Mode), режим зберігання (Power-Down Mode). Різноманіття режимів споживання дозволяє досягати необхідного компромісу між споживанням, точністю і часом включення.

Нормальний режим має максимальне споживання, але мінімальний рівень шумів.

В економічному режимі (Eco Mode) споживання енергії знижується за рахунок обмеження частоти вибірок (ODR 25, 50, 100, і 200 Гц) при незмінній роздільної здатності. Однак рівень шумів зростає.

Режим очікування (Standby Mode) дозволяє значно знизити споживання, зберігши мінімальний час включення мікросхеми. У режимі очікування MAX2100x не виробляє вимірювань, і велика частина блоків виключена. Проте, час включення невелика (2 мс).

У режимі зберігання (Power-Down Mode) споживання мікросхеми мінімально. Регістри як і раніше доступні для читання і запису, проте вся аналогова частина відключена. Час включення мікросхеми становить 45 мс.

Гіроскопи MAX2100x призначені для застосування в таких областях як оптична стабілізація зображень в камерах, GPS-навігаторах, роботах і іграшках. Трехосевой гіроскоп MAX21000 затребуваний в промислових і побутових додатках, машинно-користувальницьких інтерфейсів, 3D-маніпуляторів і мишах, в медичній техніці та в спортивних гаджетах.

Незважаючи на відмінні метрологічні параметри, MEMS-датчики вельми чутливі до механічних і термічних стресів, тому для отримання хороших результатів необхідно відповідально підходити до проектування друкованих плат (ПП) і організації технологічних процесів монтажу.

Проектування друкованих плат для лінійки MAX2100x

Першим кроком розробки ПП для MAX2100x є створення посадочного місця (малюнок 5).

Мал. 5. Посадочне місце для LGA-корпусу

Корпуси LGA чутліві до механічніх стресів, Виникнення якіх необходимо мінімізуваті. Щоб уникнути неприємностей, слід дотримуватися ряду рекомендацій. Ці рекомендації спрямовані на створення оптимальних умов з розподілу паяльної пасти в процесі пайки і мінімізації механічних стресів:

• рекомендується використання NSMD-масок контактних майданчиків (маски без перекриття з контактними майданчиками). Посадочні місця з NSMD виявляються менш схильні до стресу на краях, ніж SMD (маски з перекриттям), у яких в місці зіткнення неминуче виникають механічні напруги;
• зазор між маскою і контактною площадкою повинен бути порядку 0,1мм;
• ширина і довжина контактної площадки повинні перевищувати розміри висновків на 0,1 мм. Це дозволить паяльної пасти рівномірно розтектися по контактній площадці.

Стратегія розробки проводить малюнка також спрямована на мінімізацію механічної напруги. Крім того, не варто забувати, що MEMS є цифроаналоговими системами і вимагають мінімізації шумів, тому можна дати кілька загальних порад:

• частина плати безпосередньо під гіроскопом не повинна містити елементів проводить малюнка (доріжок, полігонів і перехідних отворів);
• LGA-корпус має внутрішні механічні напруги. Додатково до цього, розташовані поруч масивні компоненти можуть додатково погіршити ситуацію, тому розробники мікросхеми настійно рекомендують не розташовувати масивні елементи (компоненти індуктивності, кнопки і т.д.) на відстані менше 2 мм від гіроскопа;
• проводить малюнок повинен бути максимально симетричним. Це дозволить при пайку досягти максимального самовирівнювання під дією сил поверхневого натягу. У тому числі допускається підведення доріжок навіть до тих висновків, які не використовуються або не підключені всередині мікросхеми.

На малюнку 6 наведено приклади вдалого і невдалого варіантів проводить малюнка.

Мал. 6. Приклади вдалого і невдалого варіантів проводить малюнка

Грамотно створена друкована плата - це запорука успішного монтажу пристрою. Однак самі технологічні процеси монтажу також мають ряд особливостей, які слід особливо відзначити.

Організація технологічних процесів монтажу MAX2100x

Монтаж пристрою включає в себе кілька технологічних операцій: нанесення паяльної пасти, установка компонентів, пайка, промивка і сушка.

Корпус LGA передбачає нанесення паяльної пасти за допомогою трафаретів. Рекомендації по створенню трафаретів для LGA є типовими:

• рекомендована товщина трафарета- 90 ... 150мкм;
• розміри вікон під нанесення пасти повинні складати близько 70 ... 90% (надлишок пасти може привести до розтікання, коротких замикань і перекосів корпусу);
• форма вікон може бути округлої для поліпшення розтікання припою в процесі пайки;
• підсумкове кількість пасти має становити близько 20%;
• важливо забезпечити рівномірність товщини трафарету для отримання рівномірного шару пасти, в іншому випадку можливі перекоси корпусу в процесі пайки.

Безпосередньо процес пайки здійснюється відповідно до заданої програми температурного режиму. Вибір цієї програми залежить від безлічі факторів (від оптимальної температури пайки кожного компонента, від площі плати, від кількості компонентів і т.д.) і часто оптимізується дослідним шляхом. Однак і в даному випадку можна виділити кілька рекомендацій:

• варто уникати різких стрибків температури;
• швидкість зміни температури слід обмежити величиною 3 ° C / с для мінімізації виникають термічних і механічних напруг;
• MAX2100x здатні витримувати температури пайки до 260 ° C (до 10с), що відповідає вимогам JEDEC J-STD-020D.

Якщо в процесі пайки не використовувалися безотмивние пасти, необхідно провести ретельну промивку плати. Після промивання проводиться сушка плати.

MAX2100x прості у використанні і не вимагають унікальних технологій монтажу. Проте, для максимально швидкого і повного їх освоєння і щоб уникнути помилок компанія Maxim Integrated пропонує використовувати готовий оціночний набір MAX21000 Maxim Inertial Demo (MInD) Evaluation Kit.

Оціночний набір MAX21000 Maxim Inertial Demo (MInD) Evaluation Kit

оціночний набір MAX21000 Maxim Inertial Demo (MInD) Evaluation Kit (рисунок 7) являє собою весь необхідний комплекс апаратних і програмних засобів і складається з оціночної плати з панелькой PLCС28 для установки плати гіроскопа MAX21000, програмного забезпечення для ПК, набору З-бібліотек, USB-кабелю, 3,7 В Li-Po-батареї (опціонально).

Мал. 7. Зовнішній вигляд оціночної плати MAX21000 Maxim Inertial Demo (MInD) Evaluation Kit

Оціночна плата повністю готова до використання. На платі розташована схема харчування, що дозволяє живити схему як від 5 В USB, так і від батареї. Для спрощення аналізу стану передбачені чотири світлодіода і кнопка скидання. Чотири кнопки зарезервовані для подальшого застосування. Плата з гіроскопом встановлюється безпосередньо в панель PLCC28. Підключення до ПК здійснюється за допомогою USB 2.0. Надається програмне забезпечення включає оціночну програму MAX21000 з графічним інтерфейсом (рисунок 8) і набір С-бібліотек для побудови власних мікропроцесорних систем з використанням MAX21000.

Мал. 8. Програмна частина MinD

Програма має інтуїтивно зрозумілий інтерфейс для конфігурації MAX21000, крім того, графічне відображення отриманих даних робить зручною і оцінку швидкодії гіроскопа.

Висновок

Головними перевагами лінійки гіроскопів MAX2100x є простота застосування, відмінні метрологічні характеристики і унікальні параметри споживання. Низький рівень шумів 0,007 (° / с) / √Гц, висока швидкість потоку даних до 10 кГц, програмована чутливість роблять дані гіроскопи ідеальним рішенням не тільки для звичайної споживчої електроніки, але і для якісних систем стабілізації зображень і відповідальних додатків.

Наданий оціночний набір спільно з програмним забезпеченням дозволяють максимально швидко вивчити особливості гіроскопів і почати створювати власні додатки.

література

1. Ivo Binda, Lorenzo Rancati. APPLICATION NOTE 5604. Soldering Guidelines for MEMS Inertial Sensors. Maxim Integrated, 2013

2. Документація на компоненти http://www.maximintegrated.com/ .

Отримання технічної інформації, замовлення зразків, поставка - e-mail: [email protected]

Гіроскоп і акселерометр в одному корпусі

MAX21100 - нова система-на-кристалі від Maxim Integrated, що включає трехосевой MEMS-гіроскоп і трехосевой MEMS-акселерометр з системою обробки даних з датчиків (Inertial Measurement Unit (IMU)).

Для побудови повністю інерціальної навігаційної системи MAX21100 містить апаратний малопотребляющій модуль синхронізації, консолідації та обробки даних з трьох MEMS датчиків (Motion Merging Engine (MME)) - акселерометра, гіроскопа і зовнішнього магнетометр. ММЕ дозволяє як отримувати дані від всіх датчиків, так і реалізувати різні режими роботи системи навігації / позиціонування (наприклад Soft Gyro mode). Взаємодія з зовнішнім магнетометр здійснюється за допомогою додаткового інтерфейсу I2C.

Виріб володіє одними з кращих в галузі метрологічних і шумових характеристик, а також стабільністю характеристик.

Часовий дрейф зміщення нульового впливу становить значення 25 ° / hr (max), а температурний 0,15 dps / ° C (max), що є кращими показниками в галузі для суміщених MEMS-датчиків. Мініатюрні розміри корпусу 3x3x0.83 дозволяють використовувати MAX21100 в будь-яких застосуваннях з особливими вимогами до габаритних розмірів.

Ще однією особливістю MAX21100 є сумісність за висновками c гіроскопом MAX21000. Відмінності полягають лише в наявності виходу внутрішнього LDO і додаткового інтерфейсу I2C (MAX21100). Зв'язок з MAX21100 може бути здійснена як за I2С-, так і по SPI-інтерфейсу, що додає гнучкості при виборі керуючого мікроконтролера.

Преимущества:

• Краща температурна стабільність при нульовому впливі: 0,15dps / ° C (max)
• Краща довгострокова стабільність при нульовому впливі: 25 ° / hr (max)
• Кращі шумові характеристики: G- 0.025dps / √Hz (max), A- 260 (mg / √Hz)
• Мінімальні габаритні розміри: 16-LEAD LGA (3x3x0,83мм)
• Pin-to-Pin сумісність з MAX21000